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PARKER膜片减压阀结构分析

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产品名称: PARKER膜片减压阀结构分析
产品型号: PHS520D-02-110V-DL
产品展商: PARKER/DENISON
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简单介绍

PARKER膜片减压阀结构分析 产品提供精密且稳定的压力控制，提*了MFC(质量流量控制器)的**，这对半导体**的重复性和产量至关重要。


PARKER膜片减压阀结构分析  的详细介绍
PARKER膜片减压阀结构分析
派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上先进的微型超*纯减压阀。
产品提供精密且稳定的压力控制，提*了MFC(质量流量控制器)的**，这对半导体**的重复性和产量至关重要。
产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成，以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.
减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，为阶跃函数流量需求变化提*出色响应。
产品采用自动定心束缚膜片设计，提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹，
这样大限度减少粒子生成和截留，进—步提*工艺清洁度和吹扫**
SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。
阀体材料为内部电解抛光Vericlean316L不锈钢。Vericlean”是派克公司的UHP超*纯级不锈钢。
膜片和阀芯材料为哈氏合金C-22R。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合，
使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更*循环寿命，入口压力*达250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口，符合SEMI模块化接口规范.
SMSQ2Micro系列减压阀的内部(阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，
使用质谱仪以获得在苛刻超*纯应用中的**和稳定性
·有C和W密封贴面安装1-1/8和1-1/2
阀体尺寸·极低粒子数
·腐蚀性和特殊气体·半导体工具
·工具挂钩.气体柜
·半导体·分析试验室·制药
·生物制药·航空航天·工业
·束缚膜片有效减少接液部件的弹簧，增加安全性. SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E0.15 Cv·出口压力范围:-10 psig 到60 psig
·内漏率:≤5x10-8 scc/sec立方厘米/秒He·外漏率:二2x10-10 scc/sec立方厘米/秒He·5微英寸(Ra粗糙度)电解抛光表面处理
·工作压力范围:-40°F至+150° F(-40°C至+66°℃)
PARKER膜片减压阀结构分析

沪公网安备 31011402005010号
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